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日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵
簡要描述：◇潔凈真空 由于無油、不會返流至泵內(nèi)，因此可以得到潔凈的真空。 ◇低噪音、低振動 渦線管優(yōu)良的平衡性，降低了噪音和振動。
產(chǎn)品型號： DVS-321/631/DVT-300
所屬分類：真空泵
更新時(shí)間：2025-12-10
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵特性
◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內(nèi)，因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
渦線管優(yōu)良的平衡性，降低了噪音和振動。
◇無需日常換油
由于不使用泵油，大幅減少了日常保養(yǎng)。
◇無需冷卻水
由于是空冷構(gòu)造，安裝時(shí)真空泵只需接通電源就能工作，無需水冷管。
◇高效壓縮的渦線管節(jié)省了能源和運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
◇保養(yǎng)周期長
為避免機(jī)械損耗，選用耐用材料，密封件確保能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵應(yīng)用
◇可用于半導(dǎo)體制造的負(fù)載鎖定室
◇電子顯微鏡的前級泵
◇干式真空的前級泵
◇真空干燥、冷凍干燥系統(tǒng)
◇排氣、真空注入系統(tǒng)
◇真空蒸溜、真空凝縮
◇測量器械
◇真空加固
◇真空涂層系統(tǒng)
◇電子杠桿工程、激光杠桿機(jī)
型 號 | 實(shí)際排氣速度（L/min.） | 極限壓力 （Pa） | 吸/排氣管徑 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 電機(jī) | 極限蒸氣壓 （g/hr） | |
功率（W） | 可選電壓（V） | |||||||
※ DVS-321 | 265/320 （50/60Hz） | ≤1.5（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤3.0） | KF-25/KF-16 | 35 | 300×398×354 | 400 | 單相 100～115.200～230 | ≤2.0（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤2.3） |
DVS-631 | 525/630 （50/60Hz） | ≤1.0（當(dāng)選購件孔徑D1.5≤2.5） | KF-40/KF-25 | 41 | 326×535×367 | 600 | 單相100/200.220 | ≤2.0（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤2.3） |
44 | 326×586×367 | 三相200 | ||||||
DVT-300 | 300 | ≤6.7 | KF-25/KF-16 | 26 | 257×273×509 | 400 | 單相100.200 三相200 | ------- |
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